申請（專利）號：201010141333.8

       申請人：大連理工大學(xué)

       技術(shù)簡要說明：一種金剛石線鋸精密切割過程實時糾偏方法，屬于大尺寸人工晶體的精密切割加工技術(shù)領(lǐng)域。其特征是使用光電位置檢測元件，實時檢測金剛石線鋸位置偏移量，并反饋給計算機控制系統(tǒng)，控制工作臺做出相應(yīng)的位置、角度調(diào)整，從而使線鋸向降低切割偏差的方向移動，實現(xiàn)切割糾偏。本發(fā)明的效果和益處在于采用非接觸式的線鋸位置檢測和線鋸糾偏動作，可以避免對線鋸的接觸式檢測和糾偏所帶來的磨損；另外，本發(fā)明所采用的基于偏差反饋的糾偏策略，較之通過提高機床精度以降低切割跑偏的方法，可以在不顯著提高線鋸切割系統(tǒng)造價的同時，對大尺寸工件的線鋸精密切割獲得良好的糾偏效果。理論上本發(fā)明可以得到１７μｍ的最高糾偏精度。

       主權(quán)利要求：一種金剛石線鋸精密切割過程實時糾偏方法，使用光電位置檢測元件構(gòu)成的糾偏控制系統(tǒng)，實時檢測金剛石線鋸位置偏移量，并反饋給控制系統(tǒng)，控制切割機床工作臺做出相應(yīng)的位置、角度調(diào)整，以實現(xiàn)切割糾偏，其特征在于：（ａ）糾偏控制系統(tǒng)使用線陣ＣＣＤ或者面陣ＣＣＤ光電傳感器作為線鋸位置偏差檢測元件，且所述傳感器沿著線鋸分別放置于工件上、下表面，并貼近工件；（ｂ）糾偏控制算法基于工件原始切割面位置的記憶，糾偏以線鋸回歸到該零點位置為目標(biāo)；（ｃ）切割糾偏動作是基于工作臺以下三種動作：１）角度調(diào)整；２）平移；３）角度調(diào)整結(jié)合平移。