鈦基摻硼金剛石涂層電極的制備方法
關(guān)鍵詞 金剛石涂層電極 , 制備方法 , 鈦基鍍層 , 原創(chuàng)|2012-03-01 15:13:43|行業(yè)專利|來(lái)源 中國(guó)超硬材料網(wǎng)
摘要 申請(qǐng)人:南京航空航天大學(xué)專利號(hào):CN102242374A一種鈦基摻硼金剛石涂層電極的制備方法,它是通過(guò)在基底材料上濺射過(guò)渡層,再在此基礎(chǔ)上CVD法沉積摻
申請(qǐng)人:南京航空航天大學(xué)
專利號(hào):CN102242374A
一種鈦基摻硼金剛石涂層電極的制備方法,它是通過(guò)在基底材料上濺射過(guò)渡層,再在此基礎(chǔ)上CVD法沉積摻硼金剛石涂層來(lái)實(shí)現(xiàn)的。由基材、過(guò)渡層和金剛石層構(gòu)成的電極,其特征在于所述的基材為鈦,過(guò)渡層為通過(guò)磁控濺射的鈮或鉭,CVD工藝中使用摻硼濃度為6000-10000ppm。本發(fā)明提供了長(zhǎng)壽、高電解率的BDD電極的制備方法,它具有成本低,高重復(fù)性的優(yōu)點(diǎn)。
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