名稱 | 制造無裂紋碳化硅擴(kuò)散元件的方法 | ||
公開號(hào) | 1232440 | 公開日 | 1999.10.20 |
主分類號(hào) | C04B35/573 | 分類號(hào) | C04B35/573 |
申請?zhí)?/strong> | 97198553.7 | ||
分案原申請?zhí)?/strong> | 申請日 | 1997.10.03 | |
頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | [32]1996.10.4[33]US[31]08/725,717 | |
申請人 | 圣戈本工業(yè)陶瓷股份有限公司 | 地址 | 美國馬薩諸塞州 |
發(fā)明人 | S·戴南; J·欣德; J·韋達(dá) | 國際申請 | PCT/US97/18033 97.10.3 |
國際公布 | WO98/14411 英 98.4.9 | 進(jìn)入國家日期 | 1999.04.05 |
專利代理機(jī)構(gòu) | 上海專利商標(biāo)事務(wù)所 | 代理人 | 林蘊(yùn)和 |
摘要 | 本發(fā)明涉及制造無裂紋燒結(jié)碳化硅體的方法,它包括下列步驟:a)提供原料粉末,包含i)至少40%(重量)粒度小于10微米的細(xì)顆粒級分,該細(xì)顆粒級分包含碳化硅;ii)至少40%(重量)粒度至少為30微米的粗顆粒級分,該粗顆粒級分包含碳化硅和小于0.1%(重量)的游離碳,該批原料粉末的二氧化硅總含量至少為0.5%(重量),碳化硅總含量至少為96%(重量);b)將原料粉末成形為坯體,和b)將坯體進(jìn)行重結(jié)晶熱處理,提供密度在2.0—2.8g/cc之間的重結(jié)晶碳化硅體。 |