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制造無(wú)裂紋碳化硅擴(kuò)散元件的方法

關(guān)鍵詞 無(wú)裂紋碳化硅 , 擴(kuò)散元件|2010-12-23 00:00:00|行業(yè)專利|來(lái)源 中國(guó)超硬材料網(wǎng)
摘要 名稱制造無(wú)裂紋碳化硅擴(kuò)散元件的方法公開(kāi)號(hào)1232440公開(kāi)日1999.10.20主分類號(hào)C04B35/573&nbs

 

名稱 制造無(wú)裂紋碳化硅擴(kuò)散元件的方法 
公開(kāi)號(hào) 1232440  公開(kāi)日 1999.10.20   
主分類號(hào) C04B35/573  分類號(hào) C04B35/573 
申請(qǐng)?zhí)?/strong> 97198553.7 
分案原申請(qǐng)?zhí)?/strong>   申請(qǐng)日 1997.10.03   
頒證日   優(yōu)先權(quán) [32]1996.10.4[33]US[31]08/725,717 
申請(qǐng)人 圣戈本工業(yè)陶瓷股份有限公司  地址 美國(guó)馬薩諸塞州 
發(fā)明人 S·戴南; J·欣德; J·韋達(dá)  國(guó)際申請(qǐng) PCT/US97/18033 97.10.3 
國(guó)際公布 WO98/14411 英 98.4.9  進(jìn)入國(guó)家日期 1999.04.05  
專利代理機(jī)構(gòu) 上海專利商標(biāo)事務(wù)所  代理人 林蘊(yùn)和   
摘要   本發(fā)明涉及制造無(wú)裂紋燒結(jié)碳化硅體的方法,它包括下列步驟:a)提供原料粉末,包含i)至少40%(重量)粒度小于10微米的細(xì)顆粒級(jí)分,該細(xì)顆粒級(jí)分包含碳化硅;ii)至少40%(重量)粒度至少為30微米的粗顆粒級(jí)分,該粗顆粒級(jí)分包含碳化硅和小于0.1%(重量)的游離碳,該批原料粉末的二氧化硅總含量至少為0.5%(重量),碳化硅總含量至少為96%(重量);b)將原料粉末成形為坯體,和b)將坯體進(jìn)行重結(jié)晶熱處理,提供密度在2.0—2.8g/cc之間的重結(jié)晶碳化硅體。 
 

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