手機(jī)資訊
官方微信摘要 名稱(chēng)通過(guò)化學(xué)汽相淀積生產(chǎn)碳化硅的方法和裝置公開(kāi)號(hào)1166540公開(kāi)日1997.12.03主分類(lèi)號(hào)C30B25/00&
| 名稱(chēng) | 通過(guò)化學(xué)汽相淀積生產(chǎn)碳化硅的方法和裝置 | ||
| 公開(kāi)號(hào) | 1166540 | 公開(kāi)日 | 1997.12.03 |
| 主分類(lèi)號(hào) | C30B25/00 | 分類(lèi)號(hào) | C30B25/00;C30B29/36 |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 97102232.1 | ||
| 分案原申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 申請(qǐng)日 | 1997.01.10 | |
| 頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | [32]1996.1.30[33]DE[31]19603323.3 | |
| 申請(qǐng)人 | 西門(mén)子公司 | 地址 | 聯(lián)邦德國(guó)慕尼黑 |
| 發(fā)明人 | 羅蘭·魯普; 約翰尼斯·韋爾克 | 國(guó)際申請(qǐng) | |
| 國(guó)際公布 | 進(jìn)入國(guó)家日期 | ||
| 專(zhuān)利代理機(jī)構(gòu) | 柳沈知識(shí)產(chǎn)權(quán)律師事務(wù)所 | 代理人 | 楊梧 |
| 摘要 | 一種提高氣體利用率的通過(guò)ＣＶＤ生產(chǎn)ＳｉＣ的方法和裝置，其中，產(chǎn)生一股過(guò)程氣流（２），在基底（４）上通過(guò)ＣＶＤ從過(guò)程氣流（２）中離析出ＳｉＣ。此外還產(chǎn)生由一種惰性氣體組成的第二股氣流（３），它沿流動(dòng)方向完全包圍過(guò)程氣流（２）。由此獲得過(guò)程氣體的高的產(chǎn)出率。 | ||
豫公網(wǎng)安備41019702003646號(hào)