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官方微信摘要 名稱在金剛石對頂砧上集成金屬電極的方法公開號1396801公開日2003.02.12主分類號H05K3/06&nbs
| 名稱 | 在金剛石對頂砧上集成金屬電極的方法 | ||
| 公開號 | 1396801 | 公開日 | 2003.02.12 |
| 主分類號 | H05K3/06 | 分類號 | H05K3/06;C23C14/14;C23C14/34;G01N27/00 |
| 申請?zhí)?/strong> | 02132456.5 | ||
| 分案原申請?zhí)?/strong> | 申請日 | 2002.06.16 | |
| 頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | ||
| 申請人 | 吉林大學 | 地址 | 130012吉林省長春市朝陽區(qū)前衛(wèi)路10號 |
| 發(fā)明人 | 韓永昊;高春曉;劉洪武;潘躍武 | 國際申請 | |
| 國際公布 | 進入國家日期 | ||
| 專利代理機構(gòu) | 長春吉大專利代理有限責任公司 | 代理人 | 王恩遠 |
| 摘要 | 本發(fā)明屬在高壓實驗裝置——金剛石對頂砧上集成金屬電極的方法。經(jīng)清洗 (1)、濺射電極材料(2)、涂膠(3)、光刻(4)、腐蝕金屬(5)、去膠(6)以及引線工藝過程制得鎢或鉻或鈦的金屬電極。電極材料(2)厚度為1000～2500A，濺射電極材料過程中襯底溫度保持在240～400℃。光刻(4)過程是保留需要集成電極部位的光刻膠(9)，而其余的地方光刻膠(9)被去掉。腐蝕金屬(5)是指用光刻腐蝕劑去掉未被光刻膠(9)掩蓋的電極材料。本發(fā)明能保證電極在砧面上有足夠的附著力。電極厚度小，可消除由應(yīng)力產(chǎn)生的電極崩裂現(xiàn)象?？杀苊飧邷貙饎偸膿p傷，延長使用壽命 | ||
豫公網(wǎng)安備41019702003646號