隨著金剛石生長(zhǎng)技術(shù)的大幅提升,金剛石的應(yīng)用領(lǐng)域從工業(yè)級(jí)到電子級(jí)不斷拓展,市場(chǎng)需求的驅(qū)動(dòng)使得金剛石的優(yōu)異性質(zhì)被不斷挖掘,功能化應(yīng)用場(chǎng)景日益豐富。金剛石在國(guó)防軍工、航空航天、半導(dǎo)體、光學(xué)窗口、量子器件等領(lǐng)域的戰(zhàn)略地位日益凸顯。
12月5日-7日,由中國(guó)工程院薛群基院士擔(dān)任名譽(yù)主席,DT新材料聯(lián)合北京先進(jìn)材料產(chǎn)業(yè)促進(jìn)會(huì)共同主辦,中國(guó)超硬材料網(wǎng)協(xié)辦的第八屆國(guó)際碳材料大會(huì)暨產(chǎn)業(yè)展覽會(huì)在上海新國(guó)際博覽中心W1、W2館成功舉辦。
金剛石作為碳材料的重要成員,本屆大會(huì)圍繞金剛石產(chǎn)業(yè)特別設(shè)置一場(chǎng)金剛石半導(dǎo)體及超精密加工主題展覽,提供一個(gè)金剛石行業(yè)展示、交流合作的平臺(tái),連接科研與產(chǎn)業(yè),推動(dòng)金剛石技術(shù)的創(chuàng)新與應(yīng)用。還舉行了半導(dǎo)體及加工、寬禁帶半導(dǎo)體及創(chuàng)新應(yīng)用、金剛石前沿應(yīng)用及產(chǎn)業(yè)發(fā)展、超硬材料與超精密加工4大主題論壇,內(nèi)容涵蓋半導(dǎo)體及加工產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀與趨勢(shì)、寬禁帶半導(dǎo)體進(jìn)展及產(chǎn)業(yè)化解決方案、先進(jìn)加工技術(shù)及應(yīng)用方案、半導(dǎo)體切磨拋難題解決方案等熱點(diǎn)話題。
金剛石半導(dǎo)體及超精密加工館
W1金剛石半導(dǎo)體及超精密加工主題館設(shè)置了10000㎡的專題展覽區(qū),展示最新的單晶金剛石晶圓、金剛石散熱片、BDD電極、單晶熱沉片等功能化產(chǎn)品器件,芯片減薄金剛石砂輪、金剛石微粉、金剛石研磨液、金剛石片晶、金剛石線鋸等傳統(tǒng)精密加工產(chǎn)品以及激光切割機(jī)、MPCVD設(shè)備、六面頂壓機(jī)等金剛石生產(chǎn)加工設(shè)備,探討交流金剛石在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上的前沿應(yīng)用以及金剛石在金屬、陶瓷、硬脆性材料等領(lǐng)域的超精密磨削加工解決方案。
半導(dǎo)體及加工主論壇
半導(dǎo)體及加工主論壇邀請(qǐng)中國(guó)電子科技集團(tuán)有限公司趙正平研究員、吉林大學(xué)姚明光教授等專家教授,聚焦于寬禁帶半導(dǎo)體SiC、金剛石及新型超硬碳材料等內(nèi)容,全面分析SiC、金剛石技術(shù)創(chuàng)新的最新進(jìn)展、制備方法、發(fā)展趨勢(shì)及挑戰(zhàn)。
寬禁帶半導(dǎo)體及創(chuàng)新應(yīng)用論壇
寬禁帶半導(dǎo)體及創(chuàng)新應(yīng)用論壇邀請(qǐng)大連理工大學(xué)王德君教授、西安交通大學(xué)王宏興教授等專家學(xué)者,圍繞金剛石晶圓、SiC、GaN等寬禁帶半導(dǎo)體材料及器件等內(nèi)容,探討交流寬禁帶半導(dǎo)體的最新進(jìn)展、技術(shù)難點(diǎn)與產(chǎn)業(yè)化解決方案。
金剛石前沿應(yīng)用及產(chǎn)業(yè)發(fā)展論壇
在金剛石前沿應(yīng)用及產(chǎn)業(yè)發(fā)展論壇上,元素六業(yè)務(wù)拓展經(jīng)理、首席科學(xué)家lan Friel、廣東工業(yè)大學(xué)副校長(zhǎng)王成勇教授等專家學(xué)者,深入探討分析金剛石在高性能半導(dǎo)體器件散熱、激光技術(shù)、熱敏電阻器件、量子傳感器、電化學(xué)工程等前沿領(lǐng)域的功能化應(yīng)用現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(shì)。
超硬材料與超精密加工論壇
金剛石作為超硬材料,在超精密加工領(lǐng)域扮演著不可或缺的角色。哈爾濱工業(yè)大學(xué)趙清亮、清華大學(xué)天津高端裝備研究院常務(wù)副所長(zhǎng)戴媛靜等專家學(xué)者在超硬材料與超精密加工論壇上探討金剛石研磨拋光技術(shù)、材料如何更好匹配半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展,以及超硬材料工具在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上的應(yīng)用現(xiàn)狀及發(fā)展機(jī)遇。
半導(dǎo)體CMP拋光“卡脖子”難點(diǎn)探討
在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)技術(shù)是實(shí)現(xiàn)晶圓表面全局平坦化的關(guān)鍵步驟,但CMP技術(shù)在實(shí)際應(yīng)用中面臨著成本高、拋光均勻性、表面缺陷、雜質(zhì)控制等難題。12月7日上午,本屆碳材料大會(huì)還舉行了半導(dǎo)體CMP拋光“卡脖子”難點(diǎn)探討,專家學(xué)者、企業(yè)代表和產(chǎn)業(yè)鏈產(chǎn)學(xué)研用不同環(huán)節(jié)嘉賓代表圍繞CMP拋光技術(shù)、拋光液、工藝、設(shè)備以及配套耗材等存在“卡脖子”難點(diǎn)深入研究探討,提出需要業(yè)界共同努力,通過(guò)技術(shù)創(chuàng)新和優(yōu)勢(shì)互補(bǔ),來(lái)推動(dòng)半導(dǎo)體CMP拋光產(chǎn)業(yè)進(jìn)一步發(fā)展的觀點(diǎn)。
通過(guò)第八屆國(guó)際碳材料大會(huì)暨產(chǎn)業(yè)展覽會(huì)(Carbontech 2024),與會(huì)嘉賓們深入了解金剛石的最新科研進(jìn)展、市場(chǎng)趨勢(shì)和產(chǎn)業(yè)應(yīng)用,共同見(jiàn)證金剛石技術(shù)的創(chuàng)新與突破,探索金剛石的無(wú)限應(yīng)用!
盡管大會(huì)已經(jīng)落幕,但金剛石行業(yè)的征程仍在繼續(xù)。在政策引導(dǎo)、技術(shù)創(chuàng)新、市場(chǎng)拓展的推動(dòng)下,金剛石行業(yè)正煥發(fā)出新的生機(jī)與活力。我們期待整個(gè)行業(yè)攜手并進(jìn),共同書(shū)寫(xiě)金剛石產(chǎn)業(yè)的新篇章!