2022年11月15-17日,第六屆國際碳材料大會暨產(chǎn)業(yè)展覽會將在深圳國際會展中心(寶安新館)舉辦。
Carbontech 2022堅持產(chǎn)學(xué)研結(jié)合,針對金剛石及相關(guān)產(chǎn)業(yè)設(shè)置極端制造與超精密加工論壇、金剛石前沿論壇、培育鉆石論壇三大板塊,從解決產(chǎn)業(yè)需求出發(fā),結(jié)合最前沿科研走向,克服高精尖難題,探索金剛石應(yīng)用的無限可能!
嘉賓陣容
極端制造與超精密加工論壇
2022年11月15日 星期二
金剛石作為材料之王,其優(yōu)異性質(zhì)不斷被發(fā)掘,從傳統(tǒng)的超硬性質(zhì)到超寬禁帶半導(dǎo)體,工業(yè)跨度范圍極大。其火熱爆點,不僅在于珠寶行業(yè),更多應(yīng)用前景在于高精尖工業(yè)領(lǐng)域。在高端裝備、超精密加工領(lǐng)域,金剛石材料不可或缺!
【嘉賓介紹】
尹韶輝,湖南大學(xué)教授,博士生導(dǎo)師,教育部新世紀(jì)優(yōu)秀人才,岳麓學(xué)者,留日工學(xué)博士。現(xiàn)任湖南大學(xué)無錫半導(dǎo)體先進制造創(chuàng)新中心主任,湖南大學(xué)國家高效磨削工程技術(shù)研究中心副主任,機械與運載工程學(xué)院學(xué)術(shù)委員會副主任,湖南大學(xué)無錫半導(dǎo)體先進制造創(chuàng)新中心主任。兼任中日超精密加工國際會議(CJUMP)理事會副理事長,國際磨粒技術(shù)學(xué)會(ICAT)委員、中國機械工程學(xué)會生產(chǎn)工程分會委員會常務(wù)委員、湖南省人民政府學(xué)位委員會學(xué)科評議組成員,湖南省僑聯(lián)特聘專家,擔(dān)任《湖南大學(xué)學(xué)報》、《金剛石與磨料磨具工程》、《表面技術(shù)》、《機械與電子》編委。擔(dān)任多個企業(yè)技術(shù)顧問,多項科技成果在產(chǎn)業(yè)界應(yīng)用。研究方向為超精密加工及微納制造、半導(dǎo)體加工工藝與裝備、非球面光學(xué)納米精度制造工藝與裝備等。
【報告摘要】
本報告主要圍繞碳化鎢、藍寶石、碳化硅等硬脆材料的納米精度制造,介紹應(yīng)用金剛石微粉砂輪的超精密磨粒加工技術(shù)。
【嘉賓介紹】
袁巨龍,浙江工業(yè)大學(xué)資深教授,享受國務(wù)院政府特殊津貼專家,浙江省有突出貢獻中青年專家,省“151人才工程”第一層次重點資助人員。1979年至1989年哈爾濱工業(yè)大學(xué)機械工程系獲學(xué)士、碩士和博士學(xué)位。1989年至1998年浙江大學(xué)機械工程學(xué)系博士后、副教授?,F(xiàn)任浙江工業(yè)大學(xué)超精密加工研究中心主任,浙江工業(yè)大學(xué)新昌研究院院長,兼任機械工業(yè)特種精密磨削重點實驗室主任,曾任湖南大學(xué)國家高效磨削工程技術(shù)研究中心主任,西湖論劍——國際精密制造論壇發(fā)起人及主任,中日超精密加工學(xué)術(shù)會議(CJUMP)中方主席,絲路先進制造學(xué)術(shù)會議(SAM)發(fā)起人及主席。國機械工程學(xué)會生產(chǎn)工程分會常務(wù)理事,中國磨粒技術(shù)委員會副主任,中國精密加工與納米技術(shù)委員會副主任,中國切削先進技術(shù)研究會副理事長,國際磨粒技術(shù)委員會委員,日本精密工學(xué)會正會員。多年來一直從事精密與超精密加工技術(shù)與裝備的研發(fā)和教學(xué)工作。
【報告摘要】
以SiC為代表的第三代半導(dǎo)體材料具有優(yōu)異的物理性能,廣泛應(yīng)用于航空航天、新能源汽車、電力電子等領(lǐng)域。針對其超硬、化學(xué)性質(zhì)極其穩(wěn)定導(dǎo)致傳統(tǒng)CMP拋光效率低的加工難題,提出了PFRP高效超精密拋光技術(shù)。對提高我國第三代半導(dǎo)體基片超精密加工水平具有重要的科學(xué)意義和工程應(yīng)用價值。
【嘉賓介紹】
張璧,南方科技大學(xué)講席教授、工學(xué)院副院長,長期致力于高速精密加工研究,研究內(nèi)容涉及理論分析、多尺度建模仿真、加工工藝、過程監(jiān)控和材料表征等,使用超高速加工設(shè)備、高應(yīng)變率霍普金森拉伸和壓縮設(shè)備、掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡等技術(shù)以及有限元方法和分子動力學(xué)等多尺度模擬仿真手段,探索材料加工中表面完整性的演化規(guī)律,為企業(yè)提供高效優(yōu)質(zhì)加工方案。1988年獲得東京工業(yè)大學(xué)博士學(xué)位之后,赴美國俄克拉荷馬州立大學(xué)做博士后研究。1992年起,受聘為美國康涅狄格大學(xué)助理教授、副教授與終身教授,同時兼任康涅狄格大學(xué)精密機床中心主任、管理與工程制造學(xué)科主任、機械工程系本科教學(xué)主任,以及大連理工大學(xué)“精密與特種加工”團隊負(fù)責(zé)人、湖南大學(xué)科技部“國家高效磨削工程技術(shù)研究中心”總工程師。張璧是教育部特聘教授、廣東省杰出人才、國際生產(chǎn)工程科學(xué)院會士(CIRP Fellow)、美國機械工程師協(xié)會會士(ASME Fellow)。
【報告摘要】
超高速加工能夠提高工件的加工質(zhì)量和加工效率,延長刀具壽命。超高速加工中工件材料的去除機理與傳統(tǒng)加工不同,為探究超高速加工中應(yīng)變率效應(yīng)對表面完整性和磨削機理的影響規(guī)律,報告人團隊針對鈦合金(Ti6Al4V)和鋁基碳化硅(AlSiC)兩種截然不同的典型難加工材料,基于“材料脆化”與“損傷趨膚”理論,研究其在 30 m/s - 300 m/s 速度區(qū)間內(nèi)磨削加工的材料變形行為,包括表面形貌和表面粗糙度等表面變形特征,以及塑性變形、晶粒細化和晶型轉(zhuǎn)變等亞表面變形特征。結(jié)合 EBSD、TEM 和 FIB 等多種材料表征手段,考察加工速度對難加工材料表面完整性的影響規(guī)律,揭示塑性難加工材料在高應(yīng)變率條件下的塑脆轉(zhuǎn)變機制,明確材料的可加工性(Grindability)與加工速度之間的關(guān)聯(lián)關(guān)系。
【嘉賓介紹】
南方科技大學(xué)機械與能源工程系講席教授,日本東北大學(xué)博士,曾任日本尼康公司高工、日本東北大學(xué)助理教授、日本秋田県立大學(xué)教授/研究室主任,就多場輔助精密/超精密加工技術(shù)開展了一系列原創(chuàng)性研究,發(fā)表高水平學(xué)術(shù)論文200余篇,參與撰寫專著5部。是深圳市“孔雀團隊”和佛山市科技創(chuàng)新團隊帶頭人及兩團隊科研成果產(chǎn)業(yè)化公司創(chuàng)始人?,F(xiàn)任國際納米制造學(xué)會會士、國際磨粒技術(shù)委員會委員、國際學(xué)術(shù)期刊IJAT編委。
【報告摘要】
面向高性能光學(xué)非球面透鏡/反射鏡的高效精密加工制造,提出了超聲輔助直線刃單點金剛石超精密切削新方法。在分析了所提方法相較于傳統(tǒng)的金剛石磨削和圓弧刃單點金剛石切削優(yōu)勢的基礎(chǔ)上,設(shè)計制作了超聲切削裝置,并搭載到超精密數(shù)控車床上構(gòu)建了實驗裝置。針對適合于遠紅外探測的硒化鋅材料和EUV光刻機光路系統(tǒng)反射鏡不可或缺的微晶玻璃,進行了非球面超精密切削加工實驗。一系列不同參數(shù)下的實驗結(jié)果表明,在合適加工參數(shù)下,可獲得表面粗糙度Ra10nm左右、面形精度約100nm的高表面質(zhì)量高面形精度非球面,同時超聲作用可大幅度減輕刀具磨損,驗證了該新方法具備高效高精加工光學(xué)非球面的高度可行性。
【嘉賓介紹】孫吉寧, 大連理工大學(xué)教授,國家級青年科技人才,遼寧省人才集聚項目人選,大連市創(chuàng)新長期人才項目人選,英國高等教育學(xué)會會士。本科和碩士畢業(yè)于北京大學(xué)物理學(xué)院,博士畢業(yè)于英國赫瑞瓦特大學(xué),長期致力于微納米制造、微納功能表面、微納傳感器方面的前沿研究。曾獲 2009 年歐洲精密工程與納米技術(shù)學(xué)會海登海姆獎,作為第一獲獎人獲得 2015 年英國機械工程師學(xué)會路德維德蒙德獎。主持國內(nèi)外科研項目共 10 項,參與項目 5 項。受邀擔(dān)任英國康圖刀具,雷尼紹,意法半導(dǎo)體等國際知名公司技術(shù)顧問。受邀在美國精密工程協(xié)會年會,微納工程年會,歐洲離子束年會等國際會議上做大會報告和特邀報告 10 余次,發(fā)表高水平論文 30 余篇,撰寫書籍章節(jié)一章(施普林格出版社出版)?,F(xiàn)擔(dān)任 SCI 期刊 IMechE Part B: Journal of Mechanical Engineering 副主編, SCI 期刊Micromachines 的客座編輯, Nanotechnology and Precision Engineering 等雜志編委。
【嘉賓介紹】
中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)物理系本科,中國科學(xué)院物理研究所碩士,德國馬克思普朗克微結(jié)構(gòu)物理研究所博士。曾受聘于德國W&L涂層設(shè)備公司任金剛石事業(yè)部產(chǎn)品經(jīng)理一職。2022年回國加盟深圳優(yōu)普萊等離子技術(shù)有限公司,任職研發(fā)副總裁。李博士擁有豐富的MPCVD設(shè)備研發(fā)和金剛石涂層工藝研發(fā)經(jīng)驗。
【報告摘要】
高品質(zhì)的金剛石涂層在尖端精密機械,光學(xué),生物醫(yī)學(xué),能源環(huán)境和半導(dǎo)體領(lǐng)域具有非常重要的應(yīng)用。該技術(shù)長期掌握在歐美日少數(shù)公司手中,屬于典型的“卡脖子”的高端材料。本報告將圍繞目前市場上的主流金剛石涂層制備技術(shù)展開,熱絲CVD,諧振腔MPCVD,線性等離子體MPCVD。分析各種制備技術(shù)的優(yōu)缺點。最后分析一下金剛石涂層的各領(lǐng)域市場份額和趨勢。
金剛石前沿論壇
2022年11月16-17日(周三-周四)
半導(dǎo)體行業(yè),金剛石不僅僅作為半導(dǎo)體材料,在半導(dǎo)體封裝散熱、激光應(yīng)用、拋光等超精密加工領(lǐng)域同樣至關(guān)重要!另外,碳中和政策下,可持續(xù)環(huán)保理念將在工業(yè)領(lǐng)域貫徹執(zhí)行,傳統(tǒng)金剛石行業(yè)如何打破常規(guī)產(chǎn)業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀,技術(shù)突破,跨度提升,具有核心競爭力?金剛石在解決卡脖子工程中究竟充當(dāng)著什么角色?
【嘉賓介紹】呂志偉教授,河北工業(yè)大學(xué)副校長,“長江學(xué)者”特聘教授,中國光學(xué)學(xué)會激光專業(yè)委員會副主任,中國電子學(xué)會工業(yè)工程分會副主任,中央軍委科技委電子領(lǐng)域?qū)<医M成員,國家重大專項專家組成員,國家自然科學(xué)基金委員會評審專家,國防科技創(chuàng)新團隊帶頭人、教育部創(chuàng)新團隊帶頭人。中國工程教育專業(yè)認(rèn)證協(xié)會學(xué)術(shù)委員會委員,中國工程教育電子信息與電氣工程類專業(yè)認(rèn)證委員會副主任、學(xué)術(shù)委員會主任。曾任哈爾濱工業(yè)大學(xué)教授、可調(diào)諧激光技術(shù)國家級重點實驗室主任、教育部高等學(xué)校電子信息類專業(yè)教學(xué)指導(dǎo)委員會主任。呂志偉教授主要研究方向為高功率激光技術(shù)及非線性光學(xué),目前已發(fā)表SCI論文300余篇,授權(quán)專利60余項, 多項研究成果榮獲軍隊科技進步一等獎、黑龍江省自然科學(xué)一等獎等科技獎勵。
【嘉賓介紹】
朱嘉琦,哈爾濱工業(yè)大學(xué)航天學(xué)院教授、博導(dǎo),長江學(xué)者特聘教授,國家杰出青年基金,萬人計劃領(lǐng)軍人才,科技部重點專項、裝備發(fā)展部領(lǐng)域?qū)<?,科工局科技?chuàng)新領(lǐng)域?qū)<?,國防科技?chuàng)新團隊帶頭人,高效焊接新技術(shù)國家工程研究中心副主任。主要從事晶體及薄膜等研究,擔(dān)任中國機械工程學(xué)會表面工程分會副主任,中國材料研究學(xué)會極端材料與器件分會副主任,中國儀表材料學(xué)會副理事長, Functional Diamond、Advanced Materials & Devices副主編,表面技術(shù)、人工晶體學(xué)報、中國表面工程、低溫與真空、功能材料、材料科學(xué)與工藝等雜志編委,獲得中國青年科技獎、省青年五四獎?wù)碌葮s譽,獲國家技術(shù)發(fā)明獎二等獎1項,國家專利金獎1項,黑龍江省技術(shù)發(fā)明一等獎2項。以負(fù)責(zé)人承擔(dān)國家自然科學(xué)基金6項(含重點1項)、重點研發(fā)計劃項目2項、國防基礎(chǔ)科研3項、預(yù)研計劃7項、軍品配套3項等科研項目。成果已應(yīng)用于多種重點型號,并實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。獲授權(quán)發(fā)明專利82項(轉(zhuǎn)讓21項),在SCIENCE, ADVANCED MATERIALS等知名刊物發(fā)表200余篇學(xué)術(shù)論文,出版學(xué)術(shù)專著2部,譯著1部。
【報告摘要】
寬禁帶半導(dǎo)體材料是當(dāng)今半導(dǎo)體領(lǐng)域的發(fā)展方向,是國家科技戰(zhàn)略發(fā)展的重點。作為寬禁帶半導(dǎo)體材料的代表者,金剛石具有諸多優(yōu)異的性能,如高熱導(dǎo)率,高抗輻射強度,高載流子遷移率,高擊穿場強等,這些性能使得金剛石材料非常適合用于耐高溫、抗輻射、大功率、高頻率、高電壓的電子器件。由于如此多優(yōu)異的特性,金剛石也被稱為“終極半導(dǎo)體材料”。本次報告針對特殊環(huán)境中應(yīng)用的金剛石同位素電池、碳基芯片、紫外探測器件等進行研究。重點討論高性能金剛石同位素電池器件制備方法,耐高溫金剛石邏輯電路測試方法及高響應(yīng)度金剛石日盲紫外探測器件設(shè)計方法。
【嘉賓介紹】
郭躍進博士畢業(yè)于美國加州理工學(xué)院,是芯片封裝專家,長期在美國Intel公司從事芯片封裝的研發(fā)和量產(chǎn),郭躍進領(lǐng)導(dǎo)研發(fā)出來的高性能熱導(dǎo)材料目前已經(jīng)被使用在世界上95%以上的高端計算機上(數(shù)據(jù)中心、云計算及超算等)。用量子化學(xué)方法和molecular dynamics方法研究材料的電、熱,和機械性能,在Science(2篇,一作1篇)和 Nature(1篇,一作)上發(fā)表的文章已被行業(yè)引用近千次。其扇出封裝項目,奪得2018年深圳“創(chuàng)業(yè)之星”大賽各行業(yè)總冠軍(全球4000多家創(chuàng)新企業(yè)第一名)。
【嘉賓介紹】白振旭,教授,博士生導(dǎo)師,河北工業(yè)大學(xué)先進激光技術(shù)研究中心副主任、河北省先進激光技術(shù)與裝備重點實驗室副主任。目前擔(dān)任中國光學(xué)光電子行業(yè)協(xié)會激光應(yīng)用分會青年委員、天津市激光技術(shù)學(xué)會常務(wù)理事、北京光學(xué)學(xué)會青年工作委員會委員、《光電技術(shù)應(yīng)用》青年編委,長期擔(dān)任Optics Express等20余個國內(nèi)外激光領(lǐng)域知名期刊審稿人。從事高功率固體激光器及非線性頻率變換的研究,尤其是在高功率金剛石拉曼激光器及布里淵激光技術(shù)的研究取得重要進展,并榮獲國際光學(xué)工程學(xué)會Teddi Laurin獎(全球每年僅1人)、光學(xué)青年科學(xué)家競賽“Rising Stars of Light”一等獎、第二屆全國光子技術(shù)論壇優(yōu)秀口頭報告獎等。作為項目負(fù)責(zé)人主持軍委裝發(fā)部預(yù)研基金、國家自然科學(xué)基金等10余項課題,并作為核心成員參與國家重大科研儀器研制項目、美國空軍研究實驗室基金等。在APL Photonics,Optics Letters等期刊發(fā)表SCI論文50余篇,授權(quán)專利20余項。
【嘉賓介紹】
楊揚,研究員,博導(dǎo)。2012年獲得香港城市大學(xué)博士學(xué)位,2012年至2013年于香港城市大學(xué)"超金剛石及先進薄膜研究中心"(COSDAF)從事博士后研究工作,2013年加入中國科學(xué)院深圳先進技術(shù)研究院,目前任研究員,博士生導(dǎo)師。近年來通過低溫等離子體技術(shù)實現(xiàn)高質(zhì)量金剛石薄膜的制備、摻雜、表面構(gòu)造和改性,改變金剛石薄膜的性質(zhì)、特殊功能和器件性能,并注重跨學(xué)科交叉合作,實現(xiàn)納米金剛石材料在生物傳感和分子檢測、高性能電極、電化學(xué)催化和廢水處理、高性能涂層工具和耐磨器件等多個領(lǐng)域的應(yīng)用。主持國家自然科學(xué)基金面上項目(2項)、青年基金項目、廣東省區(qū)域聯(lián)合基金重點項目、深圳市基礎(chǔ)研究重點項目在內(nèi)的相關(guān)科研項目10 余項。
【報告摘要】
一維金剛石納米材料除了具有金剛石固有的物理化學(xué)性質(zhì)以外,其形貌及尺寸的改變也使其擁有一些塊體金剛石所沒有的特性。如既硬又彈的力學(xué)性能、高的比表面積、尖端效應(yīng),以及通過摻雜和空位缺陷實現(xiàn)的獨特性能等。本報告將詳細介紹多種具有針尖結(jié)構(gòu)的金剛石納米陣列制備方法、性能及其在生物傳感、電化學(xué)催化等領(lǐng)域的應(yīng)用研究結(jié)果。金剛石納米針陣列的高深寬比、高強度、表面易修飾和生物相容性使其在細胞內(nèi)藥物傳遞和分子診斷領(lǐng)域具有獨特的優(yōu)勢?;诮饎偸{米針的細胞內(nèi)活檢技術(shù),具有快速、高靈敏度、高通量、低成本的特點。此外,我們通過對金剛石納米針尖的摻雜和結(jié)構(gòu)設(shè)計,證明了表面電荷的累積可以顯著的影響電化學(xué)催化的反應(yīng)自由能,為高效電化學(xué)催化劑的設(shè)計提供了一種新的思路。
【嘉賓介紹】徐躍杭,電子科技大學(xué)教授/博士生導(dǎo)師, IEEE高級會員。現(xiàn)任Wiley旗下International Journal Of Numerical Modelling-Electronic Networks Devices And Fields副編輯、《微電子與固體電子學(xué)研究與進展》編委和International Journal of High Speed Electronics and Systems編委,曾任Wiley旗下Microwave and Optical Technology Letters特刊客座編輯。長期從事微波毫米波集成電路和系統(tǒng)研究,主持了國家自然科學(xué)基金青年/面上/優(yōu)青、國家重大專項、中軍委科技委等10多項國家級課題。以第一/通訊作者在IEEE TMTT/MWCL、 IEEE TED/EDL、APL、 ACS AMI等刊物上發(fā)表50余篇,授權(quán)美國發(fā)明專利2項、國家發(fā)明專利10余項,獲國防科技進步一等獎/二等獎和中國電子學(xué)會技術(shù)發(fā)明獎等省部級獎勵3項,出版科學(xué)出版社專著《微波氮化鎵功率器件等效電路建模理論與技術(shù)》和電子工業(yè)出版社教材《微波集成電路》。
【報告摘要】
超寬禁帶半導(dǎo)體金剛石具有高擊穿電場、高載流子飽和速度和高熱導(dǎo)率等特點,被認(rèn)為是繼GaN、SiC之后最有潛力的微波功率半導(dǎo)體。為提高器件的輸出功率密度和可靠性,一方面是直接采用金剛石制備金剛石場效應(yīng)晶體管,另一方面是作為氮化鎵器件的散熱襯底來制備金剛石/GaN異質(zhì)集成器件。然而這類新型器件的工作機理及在高溫、高場下表現(xiàn)的特性與傳統(tǒng)器件不同,對器件制備和性能提升提出了新的挑戰(zhàn)。本報告主要針對金剛石基器件的現(xiàn)狀和瓶頸,開展相應(yīng)的機理與模型研究,為提高器件性能、縮短研發(fā)周期、提高成品率、降低成本、設(shè)計性能更加優(yōu)異的微波器件奠定理論基礎(chǔ)。
【嘉賓介紹】
楊學(xué)宗 博士,中國科學(xué)院大學(xué)杭州高等研究院 物理與光電工程學(xué)院 特聘副研究員,2019年獲得中科院上海光機所光學(xué)工程博士學(xué)位,2021年獲得澳大利亞麥考瑞大學(xué)物理與天文學(xué)博士學(xué)位。主要從事高功率鈉導(dǎo)星激光、金剛石拉曼激光、光纖拉曼激光、單頻激光、光纖超快激光及非線性頻率轉(zhuǎn)換技術(shù)等方面研究。
【報告摘要】
高功率單頻激光器在量子科技、冷原子物理、激光遙感等科研領(lǐng)域具有重要應(yīng)用價值。金剛石晶體作為一種優(yōu)異的拉曼增益介質(zhì),具有超高的熱導(dǎo)率、高拉曼增益系數(shù)和超寬的通光范圍,在高功率、高亮度激光領(lǐng)域得到廣泛研究?;诶鲆娴臒o空間燒孔效應(yīng)、類均勻加寬線型特性,金剛石拉曼激光器被認(rèn)為是極具潛力的高功率單頻激光光源。此外,以技術(shù)成熟的光纖激光器作為泵浦源,單頻金剛石拉曼激光器易于實現(xiàn)功率和穩(wěn)定性提升,同時大幅降低激光器成本。本報告總結(jié)單頻金剛石拉曼激光器的最新研究進展,詳細論述金剛石單頻拉曼激光各項特性,并簡要闡述單頻金剛石拉曼激光的預(yù)期發(fā)展。
【嘉賓介紹】
多年來一直從事高導(dǎo)熱金屬材料,高純度納米金剛石,單壁碳納米管等產(chǎn)品的市場應(yīng)用開發(fā)。助力于模具高溫快速成形,高溫絕緣導(dǎo)熱,高溫導(dǎo)電導(dǎo)熱等領(lǐng)域。
【報告摘要】
高純度射線納米技術(shù)、高導(dǎo)熱金屬、高溫絕緣導(dǎo)熱
【嘉賓介紹】
任澤陽,副教授,碩士生導(dǎo)師,山東棗莊人,2014年獲西安電子科技大學(xué)學(xué)士學(xué)位,2018年獲西安電子科技大學(xué)博士學(xué)位(導(dǎo)師:郝躍院士),2019年留校做博士后研究工作,2021年晉升副教授。主要研究關(guān)注高性能金剛石生長CVD設(shè)備、大尺寸金剛石材料生長與器件研究、金剛石與氮化鎵集成研究等。成功制備高質(zhì)量、大尺寸金剛石晶體材料,研制的金剛石MOSFET器件指標(biāo)達到國際先進水平。目前已在APL, IEEE EDL, IEEE TED,DRM,物理學(xué)報等國內(nèi)外著名期刊上發(fā)表SCI檢索論文30余篇,其中一作及通訊作者20余篇,授權(quán)國家發(fā)明專利11項。獲批2019年博士后創(chuàng)新人才支持計劃,主持國家自然科學(xué)基金、陜西省自然科學(xué)基金、重點實驗室基金、博士后科學(xué)基金面上項目等科研項目。作為主要成員參與基金委重大科研儀器項目、重大科技專項及國家重點研發(fā)計劃等多個項目的研究工作。
【報告摘要】
金剛石屬于新一代超寬禁帶半導(dǎo)體材料的代表之一,具有禁帶寬度大、載流子遷移率高、熱導(dǎo)率高等系列優(yōu)點,在高頻大功率電子器件、輻射探測器、高功率開關(guān)、微波窗口等領(lǐng)域有著重要的應(yīng)用。近年來高質(zhì)量金剛石材料的生長及半導(dǎo)體器件的研究已經(jīng)發(fā)展成為國際熱點,各國也都爭相布局相關(guān)研究與產(chǎn)業(yè)。但金剛石的發(fā)展與應(yīng)用一直受限于高質(zhì)量大尺寸的材料生長、高性能的半導(dǎo)體摻雜以及關(guān)鍵器件制備工藝等問題。本報告將系統(tǒng)介紹西安電子科技大學(xué)在超寬禁帶半導(dǎo)體金剛石研究方面的新進展。西安電子科技大學(xué)從2016年開始進行金剛石材料與器件相關(guān)研究工作。目前已成功實現(xiàn)高質(zhì)量單晶及大尺寸多晶材料的生長,并實現(xiàn)了單晶襯底及多晶熱沉的小批量產(chǎn)業(yè)化。在金剛石器件研究方便,實現(xiàn)了高頻、高性能氫終端金剛石場效應(yīng)晶體管器件,研制的輻射探測器實現(xiàn)了近100%的最高國際收集效率,并在金剛石邏輯器件、高功率開關(guān)器件等方面做出來系列開拓性的研究工作。
【嘉賓介紹】
王陶,博士,副研究員,碩士生導(dǎo)師,畢業(yè)于德國錫根大學(xué),多來致力于金剛石涂層材料的制備與應(yīng)用研究,深入地研究了金剛石薄膜的生長和其在多個方面的應(yīng)用,創(chuàng)新性地采用靜電自主裝形核方式,有效調(diào)控金剛石形核分布,降低摩擦系數(shù),提高摩擦磨損性能,并增強了薄膜與基體的結(jié)合力;利用低形核密度可以制備仿生多尺度微納涂層,用于超疏水、抗菌、抗生物膜等,此研究思路和實驗方法為超硬薄膜體系提供普遍的科學(xué)指導(dǎo)作用,相關(guān)工作發(fā)表在Small, ACS Applied Materials & Interfaces, Journal of Colloid and Interface Science, Langmuir, Applied Surface Science, Surface & Coatings Technology等材料及表面工程領(lǐng)域國際期刊上。共發(fā)表相關(guān)論文及專著35篇,其中SCI論文26篇。已申請中國專利80余項,國際PCT專利6項,其中授權(quán)中國發(fā)明專利15項,授權(quán)實用新型20項。獲得深圳市高層次人才和深圳市后備人才稱號。
【報告摘要】
金剛石薄膜的界面結(jié)合強度和性能取決于形核階段的調(diào)控,通過自主研發(fā)的靜電力自組裝植晶法,精確控制形核密度,制備出高致密超薄金剛石薄膜和具有三維仿生微納多級次金剛石薄膜。超高的形核密度使我們成功制備出厚度僅為45nm的高致密金剛石納米膜,鍍膜石英玻璃在紫外—可見光波段的透光率高達90%,在水下的透光率高達98%,在紅外波段的透光率比無鍍膜石英玻璃高10%。并且具有超親水、透明防霧和水下自清潔的功能。在醫(yī)用鈦合金上制備的仿生金剛石薄膜具有超疏水、自清潔和抗菌抗生物粘附的多種功能,與無涂層鈦合金相比,仿生金剛石薄膜抑制了99%大腸桿菌的吸附。在海洋環(huán)境中,降低了95%以上綠藻的粘附。
【嘉賓介紹】
胡曉君教授長期從事金剛石的制備新方法、n型摻雜及光電性能研究。主持國家自然科學(xué)基金重點項目、國家國際科技合作項目和國家重點研發(fā)計劃課題、千萬級橫向項目等15項;發(fā)現(xiàn)化學(xué)氣相沉積過程中金剛石的形成機制,發(fā)展納米金剛石薄膜的n型摻雜新方法和色心金剛石的制備新方法。在PNAS,Carbon,APL等知名期刊發(fā)表論文90余篇,以第一發(fā)明人授權(quán)發(fā)明專利25件,授權(quán)國際專利1件;研究成果列國際先進材料協(xié)會評選的納米科學(xué)和工程技術(shù)交叉領(lǐng)域世界前100。擔(dān)任浙江-俄羅斯金剛石薄膜及其功能器件聯(lián)合研究中心和浙江省量子信息與智能材料國際科技合作基地負(fù)責(zé)人;擔(dān)任《超硬材料與工程》、《金剛石與磨料模具工程》和《Functional diamond》編委;擔(dān)任浙江省真空學(xué)會常務(wù)理事、浙江省女科技工作者協(xié)會理事、浙江省青年科技工作者協(xié)會副會長;擔(dān)任中國機床工具工業(yè)協(xié)會超硬材料分會六屆專家委員會委員、中國電子學(xué)會青年女科學(xué)家俱樂部會員、河南省功能金剛石創(chuàng)新中心技術(shù)專家委員會委員。
【報告摘要】
本報告的內(nèi)容主要包括:(1)化學(xué)氣相沉積過程中金剛石的形成機制,發(fā)現(xiàn)金剛石是由石墨相變而來,顛覆了“碳原子形成金剛石結(jié)構(gòu)”的傳統(tǒng)觀念;發(fā)現(xiàn)石墨低壓轉(zhuǎn)變?yōu)榻饎偸臋C理,顛覆了“石墨高溫高壓轉(zhuǎn)變?yōu)榻饎偸钡膫鹘y(tǒng)觀念,為基于石墨低壓制備大面積金剛石提供了新策略和理論依據(jù)。(2)金剛石的n型摻雜:創(chuàng)制了適用于納米金剛石薄膜的低劑量離子注入工藝、低真空熱氧化退火工藝;提出n型密堆積納米金剛石薄膜新結(jié)構(gòu),獲得高遷移率n型納米金剛石薄膜。(3)金剛石的色心發(fā)光研究:首次人工制備出少于3個色心的超小尺寸納米金剛石,其室溫發(fā)光性能至今保持世界第一,在單光子源、量子探針等方面有重要應(yīng)用;發(fā)展出提升色心發(fā)光強度的普適性方法。
【嘉賓介紹】
熊鷹,現(xiàn)任西南科技大學(xué)材料與化學(xué)學(xué)院院長,博士生導(dǎo)師。中國核學(xué)會錒系物理與化學(xué)分會理事(2021年9月-2025年9月),四川省科技協(xié)同創(chuàng)新促進會理事 (2022年4月-2026年4月)、四川省科技青年聯(lián)合會常務(wù)理事(2021年5月-2025年5 月)、四川省科技協(xié)同創(chuàng)新促進會碳中和專家委員會委員(2021年12月-2024年12 月)。近五年來主持國家級科研項目2項、省部級和企事業(yè)單位委托項目2項; 參與國家級科研項目3項、省部級和企事業(yè)單位委托項目3項。2018年獲第十二批四川省學(xué)術(shù)技術(shù)帶頭人后備人選,2017年入選西南科 技大學(xué)“龍山人才計劃”第四層次。近五年來以第一作者或通訊作者 在Angew. Int. Chem. Ed., Carbon, Chem. Commun. Nano Energy等高水 平學(xué)術(shù)期刊發(fā)表論文63篇,其中2篇論文被選為ESI高被引論文,為學(xué)校工程學(xué)、材 料學(xué)、環(huán)境與資源學(xué)3個學(xué)科進入ESI 1%做出了重要貢獻;合作出版英文專著1部; 獲得專利授權(quán)8項。
【報告摘要】
金剛石基復(fù)合薄膜材料因具有優(yōu)異的物化性質(zhì)在光電熱等領(lǐng)域顯示出廣闊的應(yīng)用前景!本報告重點介紹團隊在采用液態(tài)源小分子可控制備均勻大比表面積金剛石-多層石墨烯復(fù)合碳基薄膜新技術(shù)及其在場發(fā)射、OLED熱界面導(dǎo)熱、火炸藥分子無損SERS檢測及儲能方面的應(yīng)用最新進展。
【嘉賓介紹】
黃楠,工學(xué)博士,中國科學(xué)院金屬研究所研究員。主要從事金剛石薄膜材料科學(xué)與技術(shù)研究。圍繞金剛石薄膜材料關(guān)鍵科學(xué)問題,帶領(lǐng)團隊在新型金剛石薄膜材料結(jié)構(gòu)設(shè)計與性能研究方面開展系列前沿探索性工作;面對國家對金剛石薄膜材料重大需求,組織團隊進行一系列關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān),實現(xiàn)了“裝備-工藝-材料-裝置-應(yīng)用”的全鏈條發(fā)展。相關(guān)成果多次發(fā)表于Small,Carbon,ACS Applied Materials and Interfaces等期刊,并在環(huán)保和高端制造產(chǎn)業(yè)升級領(lǐng)域發(fā)揮重要作用。
【報告摘要】
金剛石薄膜材料具有重要的應(yīng)用和基礎(chǔ)研究價值。報告重點介紹中國科學(xué)院金屬研究所金剛石薄膜材料團隊近年來CVD金剛石薄膜材料制備科學(xué)研究、應(yīng)用基礎(chǔ)研究以及工程化應(yīng)用工作。
【報告摘要】
金剛石具有一系列卓越的特性,使其成為解決熱管理問題最有效的材料。微波輔助無摻雜CVD(化學(xué)氣相沉積)能夠控制晶粒尺寸、晶粒純度和晶粒界面,從而生長出在特定應(yīng)用上所需的目標(biāo)熱導(dǎo)水平的高質(zhì)量、高重復(fù)性的多晶金剛石。金剛石的寬光譜透射性、低熱膨脹系數(shù)、高機械強度,高耐熱沖擊熱性,低散射,高激光誘導(dǎo)損傷閾值,低吸收,高拉曼增益系數(shù)和高導(dǎo)熱性等優(yōu)異特性的結(jié)合,為光學(xué)應(yīng)用(如激光)提供了卓越的優(yōu)勢。與基于傳統(tǒng)材料的激光器相比,利用金剛石作為散熱器,透射窗口,反射窗口,分束器可使得激光器在高功率下依然穩(wěn)定的運行在相當(dāng)高的性能水平。本報告主要講述CVD金剛石的光學(xué)熱學(xué)相關(guān)特性,以及可用于光學(xué)領(lǐng)域的具體應(yīng)用。
【嘉賓介紹】宋健民,1974年美國麻省理工學(xué)院高壓博士畢業(yè),前后任職于美國GE、Norton Diamond Film、中國砂輪企業(yè)股份有限公司(臺灣),取得了諸多技術(shù)及專利成就。曾協(xié)助韓國日進鉆石、臺灣工業(yè)技術(shù)研究院、韓國SKC等公司技術(shù)升級,被協(xié)助單位獲益匪淺,取得了明顯的經(jīng)濟效益和技術(shù)進步?,F(xiàn)從事高溫高壓(HPHT)鉆石生長、化學(xué)氣相沉積(CVD)鉆石膜的生長、鉆石工具的制造。2009年7月與苑執(zhí)中博士一起成立臺鉆科技(鄭州)有限公司,合作研發(fā)、生產(chǎn)HPHT鉆石、CVD鉆石、鉆石工具。在國內(nèi)外中英文有關(guān)鉆石著作十余本,發(fā)表有關(guān)鉆石專業(yè)中英文演講及論文數(shù)百次,取得世界各國發(fā)明專利共約1000項。
【報告摘要】
集成電路的制造需要在晶圓上光刻數(shù)十層電路及介電層,因此電圓必須不斷以CMP平坦化使光刻機聚焦。晶圓平坦化的關(guān)鍵在使用鉆石碟的沒計,因此鉆石碟決定了CMP的效率及芯片的良率。作者是全球鉆石碟主要專利的授權(quán)人。本次演講將介紹次世代的鉆石碟的設(shè)計及其性能。
培育鉆石論壇
2022年11月15日(周二)
近年來,培育鉆石,憑借其環(huán)保理念,價格優(yōu)勢逐漸成為新生代消費者滿足悅己需求的選擇,培育鉆石行業(yè)逐步崛起,勢不可擋,將迎來前所未有的爆發(fā)期。同時,天然鉆石與培育鉆石的博弈將會是“持久戰(zhàn)”,如何合作與分配?培育鉆石在珠寶行業(yè)如何定位?如何使培育鉆石更有辨識度?培育鉆石如何開拓獨特發(fā)展道路,打開消費市場?
【嘉賓介紹】劉厚祥博士,曾供職于De Beers集團鉆石推廣機構(gòu)、Forevermark永恒印記;HRD比利時鉆石高階層議會;國家珠寶玉石質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心。長期專注于鉆石行業(yè)發(fā)展、市場趨勢、技術(shù)發(fā)展等。
【嘉賓介紹】滿衛(wèi)東,教授,2006年博士畢業(yè)于中國科學(xué)院等離子體物理研究所,2006-2020年在武漢工程大學(xué)等離子體化學(xué)與新材料湖北省重點實驗室中工作,2021年,全職加入上海征世科技股份有限公司。主持過大功率915MHz微波CVD系統(tǒng)開發(fā)、廢水處理用高比表面金剛石膜電極研發(fā)與應(yīng)用、寶石級CVD培育鉆石關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)等科研項目,發(fā)表科研論文80余篇,已授權(quán)發(fā)明專利30多件。
【報告摘要】培育鉆石的工業(yè)化生產(chǎn)是目前研究的熱點話題之一,也是單晶金剛石作為第三代半導(dǎo)體材料,實現(xiàn)大規(guī)模工業(yè)應(yīng)用的必經(jīng)之路。本報告從CVD生長金剛石的基本原理出發(fā),闡述了生長CVD單晶金剛石所需設(shè)備的特點,產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)過程中可能存在的難點問題,以及征世科技在解決這些難點問題中采取的一些措施。
【報告摘要】
1. 透過GIA檢測的培育鉆石,聚焦培育鉆石技術(shù)與品質(zhì)的發(fā)展;2. 分享GIA美國寶石研究院收檢的培育鉆石的最新數(shù)據(jù);展望培育鉆石行業(yè)未來的生產(chǎn)趨勢
【報告摘要】
鉆石培育作為一個新興發(fā)展的行業(yè),受到越來越多人的關(guān)注。而在培育生長的過程中,生長環(huán)境中的氣體組分特別是氫氣的純度,對于鉆石的成色起到至關(guān)重要的作用。因此,氫氣的穩(wěn)定性、可靠性、以及成本就成了鉆石培育行業(yè)的專家們非常關(guān)注的一項內(nèi)容。
【嘉賓介紹】葉樂,中信建投輕工紡服&教育行業(yè)首席分析師,復(fù)旦大學(xué)金融碩士專業(yè)畢業(yè),2016年加入中信建投證券研究發(fā)展部,2017年“新財富”中小市值最佳分析師第3名團隊核心成員,2019年“水晶球”中小市值入圍,2020年“新財富”海外最佳分析師第5名。目前專注于輕工紡服、醫(yī)美日化、教育人力資源、寵物等消費服務(wù)產(chǎn)業(yè)研究。
【嘉賓介紹】Diamond Foundry大中華區(qū)總經(jīng)理。2018年加入Diamond Foundry公司,并引進旗下珠寶品牌VRAI芮愛進入中國市場,目前已經(jīng)進駐天貓商城,并在上海、西安、重慶、蘇州等地3開設(shè)線下門店和體驗展廳。加入Diamond Foundry之前,曾任職于Puma,Dickies, General Mills, C&A等歐美企業(yè)。
畢業(yè)于復(fù)旦大學(xué)管理學(xué)院,主修統(tǒng)計專業(yè)。對數(shù)據(jù)敏感,擁抱創(chuàng)新,注重執(zhí)行。
Diamond Foundry是來自于美國硅谷的高科技公司,知名影星&環(huán)保主義者李奧納多·迪卡普里奧也是Diamond Foundry的投資人。公司最核心的競爭力是美國硅谷的半導(dǎo)體科學(xué)家,他們在實驗室里通過CVD半導(dǎo)體技術(shù)培育出和天然鉆石沒有任何區(qū)別的真鉆,并且是碳中和的環(huán)保產(chǎn)品。Diamond Foundry不僅是珠寶市場的新生力量,也為人類社會未來帶來機會,為半導(dǎo)體材料的創(chuàng)新革命帶來廣闊的前景。
【嘉賓介紹】鉆石小鳥鉆戒大師創(chuàng)始人合伙人,連續(xù)創(chuàng)業(yè)者,多年企業(yè)管理及上市珠寶公司總經(jīng)理經(jīng)歷。
【嘉賓介紹】
2014年,評選為美國Babson College CWEL(女性領(lǐng)導(dǎo)創(chuàng)業(yè)家)學(xué)者。2015年,在蘇州創(chuàng)立“麥古有機生活館”。2019年1月24日,登上由福布斯中國推出的”商界20位潛力女性“榜單。2019年7月,入圍Tatler雜志推出的Gen.T榜單。2019年8月,入選為Tatler雜志和Credit Suisse瑞信銀行總部評選的亞洲十位社會影響力獎。2019年10月,入選由福布斯中國推出的“2019年福布斯中國30位30歲以下精英榜”。2021年10月,創(chuàng)立珠寶品牌ANOTA。
【報告摘要】
基于鉆石領(lǐng)域的消費需求變化,培育鉆石不僅具備價格優(yōu)勢,它與天然鉆石一樣的品質(zhì)和環(huán)保屬性更能抓住年輕潮流消費群體追求多元搭配、多樣個性的需求。不過培育鉆石也正在面臨供需緊張的局面,但隨著培育鉆石產(chǎn)能的優(yōu)化,未來生產(chǎn)規(guī)模將會迅速擴張。通過和國內(nèi)頭部培育鉆石機構(gòu)的深度合作,ANOTA品牌的供應(yīng)鏈優(yōu)勢不言而喻。
特色展覽
2022年11月15-17日(周二-周四)
中國·深圳 深圳國際會展中心(寶安新館·10號館)
特色展位:相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈產(chǎn)品、設(shè)備展示(展品范圍:金剛石晶體材料、金剛石膜、金剛石微粉等材料、超硬材料相關(guān)制品、研磨制品與拋磨設(shè)備、培育鉆石、熱沉材料、焊接材料與設(shè)備、微波CVD、熱絲CVD等制備設(shè)備、氫氣發(fā)生器、甲烷等碳源、真空設(shè)備、激光切割/加工設(shè)備、拉曼光譜儀、SEM、TEM、白光干涉儀等檢測設(shè)備……)
同期活動列表
2022年11月15-17日(周三-周四)
中國·深圳 深圳國際會展中心(寶安新館·10號館)
活動日程安排
2022年11月15-17日(周二-周四)
中國·深圳 深圳國際會展中心(寶安新館·10號館)
2、確定嘉賓與報告安排(持續(xù)更新)
Workshop:激光遇上碳
——金剛石與激光結(jié)合的應(yīng)用探索
2022年11月15日 10:00-12:00
金剛石晶體具有極高的熱導(dǎo)率、極寬的光譜透過范圍和極高的物理和化學(xué)穩(wěn)定性,已在非線性光學(xué)、熱傳導(dǎo)、光學(xué)窗口等領(lǐng)域成為炙手可熱的光學(xué)材料。同時,金剛石材料作為典型的硬脆性難加工材料在后期的產(chǎn)品成形中,傳統(tǒng)加工方式已無法加工或者無法達到所要求的高精度和高分辨率,超快激光微納加工技術(shù)作為目前最佳解決方案。
參考話題(不局限如下話題)
1、大尺寸、高質(zhì)量單晶金剛石制備
2、金剛石激光晶體制備與性能研究
3、金剛石拉曼激光器和布里淵激光器
4、高功率金剛石激光技術(shù)研究與應(yīng)用及面臨的挑戰(zhàn)
5、特殊波長金剛石激光器
6、不同布里淵增益介質(zhì)的特性
7、窄線寬激光器研究
8、金剛石光學(xué)窗口相關(guān)元件的研究
9、金剛石光學(xué)增透膜的研究
10、金剛石基光電探測器件制備及其應(yīng)用
11、金剛石NV色心的研究與進展
12、金剛石封裝半導(dǎo)體激光器的散熱方式研究與進展
13、金剛石微通道熱沉激光加工工藝
14、超快激光微納加工技術(shù)在金剛石材料中的應(yīng)用
……
極端制造與超精密加工論壇
2022年11月15日(周二)14:00-17:00
金剛石前沿論壇
2022年11月16日(周三)9:00-17:00
2022年11月17日(周四)9:00-12:00
培育鉆石論壇日程
2022年11月15日(周二)9:00-18:00
防疫須知與政策
一、白名單申報
已注冊觀眾,需等待防疫"白名單"審核結(jié)果,通過后方可入場。
“未登記”或“非白名單”無法入場
二、入場防疫須知
疫情變化注意查看每日更新!
“未登記”或非“白名單無法入場”
(1)需通過"展館入場白名單審核"
申報方式:所有人員需在11月15日15:00前完成實名注冊,進行“白名單”審核,通過相關(guān)防疫部門審核的白名單方可入場,請使用與身份證一致的姓名和本人手機號登記,并于現(xiàn)場攜帶身份證入場。
*白名單審核結(jié)果由防疫相關(guān)部門大數(shù)據(jù)排查得出,非主辦可控,請務(wù)必提前登記,獲得白名單審核通過后到場。
*如涉及他人代購門票或代為登記,收到未通過提示,可重新進入上方二維碼復(fù)核【白名單結(jié)果】
(2)入館查驗條件:
1.深圳市外客戶的7天內(nèi)有異地行程,需完成“三天三檢”,并持本地24小時核酸檢測陰性記錄入場(查驗粵康碼);
2.深圳市內(nèi)客戶行程卡7天無異地記錄,并持24小時核酸檢測陰性記錄入場(查驗粵康碼);
3.入場需簽署入深疫情防控個人承諾書;進入深圳條件具體請參考【深圳市疫情防控政策】
*三天三檢:3天內(nèi)始發(fā)地2次核酸、抵深后1次核酸檢測;或3日內(nèi)始發(fā)地1次核酸、抵深后2次核酸檢測;或抵深后3日內(nèi)3次核酸檢測;
(3)展館內(nèi)核酸檢測:為了保障次日更便捷進館,建議每天活動結(jié)束前至核酸檢測點及時進行核酸檢測。
(4)請留意每日防疫防控政策變化
交通指南
論壇&展會地點:中國·深圳 深圳國際會展中心(寶安新館·10號館)
具體地址:深圳市寶安區(qū)福海街道展城路1號
(備注:深圳國際會展中心緊鄰深圳寶安國際機場,毗鄰福永碼頭,緊挨廣深沿江高速,直通地鐵,接駁城軌,享有極其便利的交通資源。)
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(備注:由于展會期間,住宿需求較大,請?zhí)崆邦A(yù)定)
2022國際碳材料大會暨產(chǎn)業(yè)展覽會指定接待商---深圳市捷旅國際會議展覽有限公司,提供返程機票、酒店預(yù)訂及租車、商務(wù)旅游及其他展會解決方案等服務(wù)。
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