固結(jié)（堆積）磨料的應(yīng)用

鄭州磨料磨具磨削研究所  王光祖
天鑒碳材料有限公司 張洪濤 李小童

       何謂堆積（固結(jié)）磨料？堆積磨料即通過(guò)特殊的造粒方式，用高強(qiáng)度粘結(jié)劑把細(xì)顆粒磨料粘接起來(lái)，使其形成一個(gè)獨(dú)立的堆積組合體，這種組合體通常也具有磨具的三要素---磨料、結(jié)合劑和極細(xì)小氣孔，可將其稱為一種微型磨具。堆積磨料適用于制作多種涂附磨具，如砂帶、砂紙等，也可制備固結(jié)磨具如刃磨砂輪等。將堆積磨料使用有機(jī)高分子結(jié)合劑及相關(guān)材料粘結(jié)在布基基體上制備的砂布就是堆積磨料砂布，再將堆積磨料轉(zhuǎn)換成砂帶就是堆積磨料砂帶。

       使用堆積磨料制造的堆積磨料砂帶是一種新型的柔性磨削工具，它磨削效率高，磨削性能穩(wěn)定，具有磨削精度好和使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)，不僅能滿足不銹鋼、鈦合金等難磨金屬的磨削要求，而且對(duì)金屬表面的拉絲和拋光也有很大的產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢(shì)。用途十分廣泛，是新型涂附磨具的重要發(fā)展趨勢(shì)之一。

       傳統(tǒng)普通砂帶為單層植砂，在磨削過(guò)程中，會(huì)有一些先天客觀的缺陷，如磨粒變鈍，工件切削掉的物質(zhì)堵塞砂帶表面，散熱性差，壽命有限，磨削前后工件表面切削效果不一致，磨削狀態(tài)漸漸由切削變?yōu)榛?，磨削區(qū)域溫度上升燒傷工件。對(duì)比現(xiàn)階段市場(chǎng)成熟產(chǎn)品，堆積磨料涂附磨具將只有固結(jié)磨具才有自銳性這一特點(diǎn)與其自身優(yōu)勢(shì)完美地結(jié)合起來(lái)。不僅節(jié)約了砂帶的換帶時(shí)間，制帶基體生產(chǎn)成本，工件生產(chǎn)人工成本，而且提高了加工精度與穩(wěn)定性，具有無(wú)可比擬的優(yōu)勢(shì)。

       劉鵬展等，堆積磨料制備技術(shù)及堆積磨料砂帶應(yīng)用現(xiàn)狀，[J]超硬材料工程2017.3：40--44

       1. 固結(jié)磨料應(yīng)用于砂帶堆積磨料砂帶的主要用途，歸根結(jié)底還是由其自身的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和磨削優(yōu)勢(shì)所決定的。根據(jù)不同的磨削對(duì)象選擇不同造粒材質(zhì)與粒度組成的堆積磨料制品，已成為新型柔性磨削的一種發(fā)展方向。

       金屬材料種類豐富，其中難磨金屬材料指的是又硬又黏的金屬，如鈦合金，鋁合金，高硬度金屬，高溫合金，不銹鋼等。金屬材料的磨削處理根據(jù)材料的作用和目的的不同，主要分為表面磨削，即加工材料使其達(dá)到規(guī)定的尺寸和表面質(zhì)量，表面打磨，即清除材料表面雜質(zhì)使其光滑平整達(dá)到一定的表面粗糙度，表面拋光，即對(duì)材料表面修飾精加工達(dá)到光滑表面或鏡面光澤。

       這類材料廣泛用于國(guó)民生產(chǎn)各個(gè)行業(yè)，如電力行業(yè)的汽輪機(jī)、水輪機(jī)葉片、高壓容器、管道;航空行業(yè)的發(fā)動(dòng)機(jī)的葉片、飛機(jī)框架;能源行業(yè)的輸油、輸氣管道;日常生活中用到的刀具、運(yùn)動(dòng)器材等。這些產(chǎn)品不僅材料特殊，型面復(fù)雜難于加工和磨削，而且對(duì)表面質(zhì)量或精度還有很高的要求，使用傳統(tǒng)磨削工具，難以滿足加工工藝要求，而堆積磨料砂帶能很好解決這一難題。

       堆積磨料砂帶不僅具有涂附磨具的柔軟性，高效冷切削，加工表面質(zhì)量高等磨削特點(diǎn)，同時(shí)還具有固結(jié)磨具的自銳性和長(zhǎng)壽性，從而結(jié)束了固結(jié)磨具加工效率低，低精度的問(wèn)題，改變了傳統(tǒng)磨料砂帶使用壽命短的缺點(diǎn)，使葉片加工從傳統(tǒng)的手工打磨轉(zhuǎn)向了自動(dòng)化，高效率，高精度，低勞動(dòng)強(qiáng)度的數(shù)控磨削。

       2. 金屬表面拉絲即在工件表面磨削形成線紋，起到裝飾效果的一種表面處理手段。堆積磨料砂帶因磨削一致性高，所以特別適合于金屬拉絲行業(yè)。傳統(tǒng)砂帶磨料在剛開始拉絲時(shí)，磨粒尖銳鋒利，拉絲線紋深，但拉絲不多久，磨料便開始變鈍，拉出的絲紋就開始變淺，隨著時(shí)間的推移，絲紋越來(lái)越淺。這樣就產(chǎn)生一個(gè)問(wèn)題，就是同一砂帶拉出的工件，前面的產(chǎn)品與后面的產(chǎn)品拉絲線紋會(huì)有明顯的差別，影響工件表面的一致性。目前，堆積磨料砂帶在表面拉絲加工中有著非常廣闊的應(yīng)用，尤其是在IT電子行業(yè)，例如，手機(jī)外殼，相機(jī)外殼，筆記本電腦外殼等產(chǎn)品的表面拉絲處理。另外，金屬家具，家電外殼，水暖器具等的表面拉絲，也都需要使用堆積磨料砂帶。

       3.對(duì)銅材的拋光銅材料的拋光主要有化學(xué)拋光，電化學(xué)拋光，機(jī)械拋光等?；瘜W(xué)拋光在加工時(shí)會(huì)出現(xiàn)NO，NO2等有害氣體，對(duì)操作人員及環(huán)境危害嚴(yán)重，電化學(xué)拋光后的工件表面光亮度不均勻，表面會(huì)殘留有凹坑和條紋；而機(jī)械拋光容易引起金屬表面扭曲和組織性，構(gòu)造性不規(guī)范。化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)（CMP）作為新型的拋光技術(shù)，利用機(jī)械與化學(xué)的復(fù)合作用實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的微量去除。化學(xué)機(jī)械拋光主要有游離磨料的拋光技術(shù)和固結(jié)磨料的拋光技術(shù)。游離磨料加工過(guò)程中磨粒分散不均勻，磨粒運(yùn)動(dòng)具有不可控性，造成工件面型精度難以保證；同時(shí)有磨粒利用率低、污染嚴(yán)重，加工成本高等缺點(diǎn)。固結(jié)磨料加工技術(shù)則克服了以上缺點(diǎn)，將磨料固結(jié)在拋光盤上，磨料分散均勻，保證了材料去除的均勻性；拋光液中只添加少量的簡(jiǎn)單化學(xué)試劑，大大減少了對(duì)環(huán)境的污染。

       Nguyen等人在保證相同去除率的情況下，利用傳統(tǒng)的游離磨料CMP，AFCMP（無(wú)磨料化學(xué)機(jī)械拋光），F(xiàn)ACMP（固結(jié)磨料化學(xué)機(jī)械拋光）分別拋光銅晶圓，固結(jié)磨料化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)平坦化效率最高，且對(duì)晶圓的形貌及特征尺寸無(wú)選擇性。

       王成等人利用堿性拋光液實(shí)現(xiàn)對(duì)銅材料的拋光加工，探索拋光液組分對(duì)銅材表面質(zhì)量及材料去除率的影響，實(shí)現(xiàn)對(duì)銅材的超精加工。

       王成等,固結(jié)磨料拋光中不同拋光液組分對(duì)銅的加工性能的影響，[J]金剛石與磨料磨具工程2013.6：1--6

       4. 脆性材料在光學(xué)元器件行業(yè)、半導(dǎo)體、光伏產(chǎn)業(yè)、石材行業(yè)等領(lǐng)域有著重要的應(yīng)用。脆性材料既包含單晶硅、藍(lán)寶石等高硬度、高脆性材料，也包括KDP、DKDP等低硬度、高脆性材料。切割加工是脆性材料的首道加工工藝，其成本占生產(chǎn)總成本的40%以上。脆性材料傳統(tǒng)切割時(shí)，材料表面質(zhì)量差、亞表面損傷增大，甚至出現(xiàn)大尺寸裂痕等，因而多采用低應(yīng)力切割技術(shù)來(lái)加工脆性材料。

       帶鋸切割常用于石材的切割，根據(jù)切割工具不同可分為鋼帶鋸和金剛石帶。鋼帶鋸采用游離磨料來(lái)研磨加工，由于加工過(guò)程中使用大量的鋼砂和石灰等，嚴(yán)重污染環(huán)境，而金剛石帶鋸采用固結(jié)金剛石磨料磨削加工，切削效率高、環(huán)境污染少。但帶鋸切割硬脆材料，切口大，損傷層大，不適合用來(lái)切割貴重和切割要求高的硬脆材料。

       相比帶鋸切割，鋼絲線直徑小，剛度低，切割過(guò)程中切口小、損傷層小，大大降低了由于機(jī)床震動(dòng)帶來(lái)的低硬度脆性材料崩片的概率。但同屬于研磨加工范疇，其切割效率低，且使用大量研磨液對(duì)環(huán)境污染比較大。而用固結(jié)金剛石線經(jīng)來(lái)切割，可以很大程度地避免上述問(wèn)題。

       高航等脆性材料用固結(jié)金剛石線切割技術(shù)研究進(jìn)展[J]金剛石與磨料磨具工程2019.4.97--102

       5. 高效研磨氧化鋯陶瓷背板

       氧化鋯是一種具有穩(wěn)定化學(xué)性質(zhì),耐高溫、耐磨損、耐腐蝕的無(wú)機(jī)非金屬材料。由于氧化鋯及其復(fù)合材料在不同條件下具有半導(dǎo)體特性、增韌性和良好的化學(xué)穩(wěn)定性等,在電子陶瓷、功能陶瓷、結(jié)構(gòu)陶瓷和生物陶瓷等高新技術(shù)領(lǐng)域的應(yīng)用非常廣泛。隨著工業(yè)技術(shù)的快速發(fā)展,尤其是下一代手機(jī)背板的高性能要求,對(duì)其高效率、低損傷加工提出了更高的要求。

       氧化鋯陶瓷屬于高硬脆(硬度與藍(lán)寶石相當(dāng))難加工材料，常用的加工方法難以進(jìn)行高效精密加工,因此出現(xiàn)了各種輔助加工方式。于思遠(yuǎn)等使用激光預(yù)熱輔助磨削加工氧化鋯陶瓷,加工后表面粗糙度Ra為0.2μm；陳明君等采用ELID磨削技術(shù)對(duì)陶瓷材料進(jìn)行磨削加工,實(shí)現(xiàn)了鏡面磨削，而且磨削表面質(zhì)量也大幅度提高；ZHAO等論述了超聲波磨削加工技術(shù)的優(yōu)越性；柴晶富等采用旋轉(zhuǎn)超聲方法加工氧化鋯陶瓷,最終表面粗糙度Ra為3.2μm，但是氧化鋯在磨削過(guò)程中出現(xiàn)大量的磨削熱，使得加工后的陶瓷工件表面存在組織變化、殘余應(yīng)力及燒傷現(xiàn)象，嚴(yán)重影響后續(xù)的超精密加工；紀(jì)洪波等進(jìn)行了氧化鋯陶瓷超精密研磨實(shí)驗(yàn)研究，但加工效率極低，難以解決在短時(shí)間內(nèi)去除由磨削加工帶來(lái)的表面層損傷問(wèn)題。

       針對(duì)手機(jī)背板加工提出的高效、低損傷加工要求,本研究采用親水性固結(jié)磨料研磨技術(shù)研磨氧化鋯陶瓷背板。磨料和研磨液是固結(jié)磨料研磨加工的兩個(gè)決定性因素,能顯著影響工件的材料去除率和表面質(zhì)量。實(shí)驗(yàn)采用金剛石聚集體作為磨料固結(jié)在研磨墊中,并在研磨液中輔助添加碳化硅顆粒,利用金剛石聚集體磨料的微破碎性能和砂漿的磨蝕性能提高研磨加工中研磨墊的自修整性能,為親水性固結(jié)磨料研磨技術(shù)在加工氧化鋯陶瓷中的應(yīng)用提供探索和參考。

       6. 研磨TC4鈦合金

       航空發(fā)動(dòng)機(jī)制造中最核心的是葉片的制造，在整個(gè)發(fā)動(dòng)機(jī)的制造過(guò)程中，葉片制造一直占據(jù)著三分之一以上的工作量。作為航空發(fā)動(dòng)機(jī)輪葉片的主要材料之一，TC4鈦合金具有優(yōu)良的綜合力學(xué)性能，同時(shí)密度低，耐高腐蝕。但是TC4鈦合金金難切削、導(dǎo)熱系數(shù)低、彈性模量低，在傳統(tǒng)加工中，容易出現(xiàn)加工變形，刀具損耗快、工件表面燒傷等問(wèn)題。固結(jié)磨料研磨通過(guò)磨料露出結(jié)合劑層的部位與工件產(chǎn)生機(jī)械作用，對(duì)工件材料產(chǎn)生塑性或類塑性去除，可以顯著降低表面及亞表面損傷，同時(shí)由于加工中磨粒硬度高、切削應(yīng)力小，可有效解決TC4鈦合金難切削，工件表面容易燒傷等問(wèn)題。

       王健杰等球形固結(jié)磨料磨頭研磨TC4鈦合金的工藝探索，[J]金剛石與磨料磨具工程2019，3：23--28

       7.研磨石英玻璃

       石英玻璃因具有透光性好、光譜頻帶寬、硬度高、耐腐蝕性強(qiáng)、絕緣性好以及化學(xué)穩(wěn)定性等一系列優(yōu)異的物理化學(xué)性能，成為光電子、微電子、光學(xué)以及光纖技術(shù)行業(yè)的重要材料之一。但是石英玻璃同時(shí)具有較大的脆性、較低的斷裂韌性等，傳統(tǒng)的游離木料加工很容易在其表面產(chǎn)生裂紋，凹坑等缺陷，嚴(yán)重影響其產(chǎn)品的使用性能。因此，如何改善其表面加工質(zhì)量，提高其加工效率，是石英玻璃超精密加工技術(shù)亟待解決的瓶頸問(wèn)題。

       固結(jié)磨料加工作為新型的超精密加工技術(shù)之一，在很多難材料加工特別是光學(xué)玻璃的加工中得到了廣泛的應(yīng)用。該技術(shù)可顯著提高石英玻璃加工的材料去除率并改善其表面質(zhì)量。對(duì)固結(jié)磨料加工而言，研磨墊和工藝參數(shù)是影響其加工效率和表面質(zhì)量的關(guān)鍵因素，因而是當(dāng)前固結(jié)磨料加工研究的熱點(diǎn)。

       王占奎等，固結(jié)磨料研磨石英玻璃的工藝參責(zé)優(yōu)化，金剛石與磨料磨具工程，2020.5：，90--95

       8.拋光YAG晶體

       釔鋁石榴石（YAG）晶體的透光性好、熔點(diǎn)高、熱導(dǎo)率高、光轉(zhuǎn)效率高，長(zhǎng)時(shí)間工作不產(chǎn)生色心、吸收系數(shù)大，可進(jìn)行高濃度摻雜等。YAG晶體固態(tài)激光器在雷達(dá)測(cè)風(fēng)、激光測(cè)距、導(dǎo)彈攔截、軌道空間碎片清除、氫鎂能量循環(huán)、激光核聚變、激光點(diǎn)火等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。但YAG晶體硬度高、脆性大，是典型的難加工材料，加工過(guò)程中易出現(xiàn)去除率低，加工表面不均勻崩邊等現(xiàn)象。然而，應(yīng)用于高能激光器的YAG晶體表面則要求超光滑，無(wú)損傷。

       固結(jié)磨料拋光技術(shù)具有選擇性強(qiáng)，平坦化效率高，工件表面不易釉化，環(huán)保等優(yōu)點(diǎn)，代表著光加工未來(lái)的發(fā)展方向。采用固結(jié)磨料拋光YAG晶體，旨在探索新的加工方法，提高磨料的利用率，工藝的可控性。

       明舜等，磨粒尺寸和基體硬度對(duì)固結(jié)磨料拋光YAG晶體的影響，金剛石與磨料磨具工程2020.3：86--90

       9.研磨SiC工件

       SiC材料具有密度適當(dāng)、彈性模量高、耐熱沖擊性好、導(dǎo)熱系數(shù)高、熱膨脹系數(shù)小、比剛度高以及各向同性等優(yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于兵器、低溫反射鏡、激光鏡等精密儀器中，逐漸發(fā)展成為新一代空間光學(xué)材料。

       SiC材料超高的硬度，使其成為一種典型的難加工材料。常規(guī)精密加工工藝容易產(chǎn)生裂紋和缺陷，不易得到超光滑表面限制了其在高性能光學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用。為此，金振弘等人提出了碳化硅砂漿輔助固結(jié)磨具研磨墊精研SiC思路，利用砂漿對(duì)研磨墊的沖蝕磨損實(shí)現(xiàn)研磨墊的自修整，并探索砂漿的濃度和磨料尺寸對(duì)固結(jié)磨具研磨墊研磨碳化硅性能的影響。結(jié)論是能有效提高親水性固結(jié)磨具研磨墊的自修整能力，其修整能力隨著砂漿中碳化硅的尺寸和質(zhì)量分?jǐn)?shù)增大而增強(qiáng)，材料的去除率提高，工件表面質(zhì)量略降。

       金振弘,砂漿對(duì)固結(jié)磨具研磨墊研磨SiC工件的影響，[J]金剛石與磨料磨具工程，2018.6--54--6

       10.研磨氟化鈣晶體

       CaF2晶體具有優(yōu)異的物理性能，光學(xué)性能和物化穩(wěn)定性，使其具有低色散性、低雙折射率、極高的透射率、較寬的透光范圍等，因而被廣泛應(yīng)用于航空、航天、光刻、激光等領(lǐng)域。但氟化鈣（CaF2）晶體脆性大、硬度低，對(duì)其進(jìn)行精密加工面臨巨大挑戰(zhàn)。

       深紫外投影光刻機(jī)最重要的部件是深紫外光光刻物鏡，該物鏡可以明顯提高光刻機(jī)的成像功能，因此對(duì)其光學(xué)材料的設(shè)計(jì)、加工、鍍膜和裝調(diào)等方面都有極高的技術(shù)要求，而目前只有融石英和氟化鈣晶體材料能滿足投影光刻物鏡這些嚴(yán)苛要求。

       CaF2晶體的軟脆特性很容易導(dǎo)致其晶體表面在研磨拋光過(guò)程中產(chǎn)生凹坑、微裂紋、劃痕和表面/亞表面損傷等缺陷，且拋光液里的各種雜質(zhì)很容易嵌入或殘留在晶體表面上，進(jìn)而影響CaF2晶體的表面質(zhì)量和其材料去除率。因此，要對(duì)其精密拋光難度很大。CaF2晶體研磨常用的磨料是單晶金剛石磨料和聚集體金剛石磨料，但2種磨料被固定在樹脂基體中形成研磨墊后，2種FAP的性能差異很大，如單晶金剛石固結(jié)磨料墊的材料去除率隨著加工時(shí)間的延長(zhǎng)有持續(xù)走低的現(xiàn)象，且總體效率較低。

       沈功明的研究結(jié)果表明，采用聚集體金剛石磨料制備的固結(jié)磨料墊(FAP)研磨效率明顯高于單晶金剛石FAP的，且其材料去除率更穩(wěn)定，同時(shí)聚集體金剛石FAP的自修整能力要優(yōu)于單晶金剛石FAP的。

       沈功明，固結(jié)磨料墊高效研磨氟化鈣晶體研究，[J]金剛石與磨料磨具工程2019.5：67--72

       11.拋光鍺片

       Ge單晶在太陽(yáng)能電池襯底材料中的應(yīng)用成為當(dāng)前的研究熱門。太陽(yáng)能電池必須具備重量輕、精度高等特點(diǎn)，而作為襯底的Ge拋光片在滿足強(qiáng)度的前提下，必須盡量降低厚度，而且對(duì)拋光片的表面質(zhì)量、表面晶格完整性、平整度有很高要求，這就給拋光的加工帶來(lái)了難度。目前，國(guó)際上常用的Ge拋光厚度在200um以下，硬度根據(jù)晶向不同介于莫氏5.5--6.5之間，加之Ge本身脆性較大，因此，控制各加工工序的成品率成為技術(shù)難點(diǎn)。已有研究表咱，冰結(jié)合劑固結(jié)磨料拋光技術(shù)在減小己加工表面的殘余應(yīng)力、微觀裂紋、表面損傷等方面具有優(yōu)勢(shì)。

       冰粒型固結(jié)磨具拋光墊具有分布均勻、自銳性好等優(yōu)點(diǎn)，但拋光過(guò)程中冰盤表層融化速率控制至關(guān)重要。一方面冰粒型拋光盤表層融化會(huì)使舊的磨具脫落，新的磨具露出，從而實(shí)現(xiàn)其自銳性和提高拋光效率;另一方面，冰粒型拋光盤的融化速度過(guò)快，會(huì)導(dǎo)致磨具浪費(fèi)，縮短其使用壽命。影響冰凍固結(jié)磨具拋光盤表層融化速度的因素包括：拋光區(qū)域摩擦產(chǎn)生的熱量，環(huán)境溫度產(chǎn)生的對(duì)流熱。

       王勇冰 粒型固結(jié)磨具拋光錆鍺片的溫度場(chǎng)仿真與實(shí)驗(yàn)研究，[J]金剛石與磨料磨具工程2016.3：17--22

       12.研磨藍(lán)寶石晶片藍(lán)寶石是一種集優(yōu)良的光學(xué)性能、物理性能和化學(xué)性能于一體的多功能氧化物晶體。單晶藍(lán)寶石具有硬度高（莫氏9級(jí)）、熔點(diǎn)高（2450C）、透光性好、導(dǎo)熱性和電絕緣性優(yōu)良、化學(xué)性能穩(wěn)定等特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于光電子、通信、國(guó)防、航空航天等領(lǐng)域，如用作紅外透光材料、激光器的窗口和反射鏡、絕緣襯底的集成芯片等。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，上述應(yīng)用領(lǐng)域?qū)λ{(lán)寶石晶體的超光滑無(wú)損傷加工及加工效率提出了更高的要求，而藍(lán)寶石作為典型的難加工材料，還沒(méi)有非常成熟的高效低損傷加工工藝，這也成為藍(lán)寶石工業(yè)應(yīng)用的主要障礙。

       研磨是藍(lán)寶石晶片拋光之前的重要工序，研磨質(zhì)量的好壞直接影響到后續(xù)的拋光時(shí)間和表面質(zhì)量。單晶藍(lán)寶石的研磨一般利用逐級(jí)減小研磨液中磨料粒度尺寸，控制磨料進(jìn)給量，來(lái)獲得比較好的表面粗糙度。其特點(diǎn)是，利用研磨墊，研磨液以及工件三者之間的機(jī)械和化學(xué)作用共同完成材料的去除，對(duì)研磨液的性質(zhì)依賴性較大，研磨過(guò)程中磨料運(yùn)動(dòng)的不可控影響研磨效果，磨料利用率低，耗費(fèi)大，污染環(huán)境。固結(jié)磨料拋光依靠凸起的磨料實(shí)現(xiàn)材料的微量切除而成為高效低損傷的加工手段。

       鄭方志 固結(jié)磨料研磨藍(lán)寶石晶片的工藝優(yōu)化[J]金剛石與磨料磨具工程2016.1：11--15

       13.與游離磨料研磨拋光相比，固結(jié)磨料拋光的諸多優(yōu)點(diǎn)如下：

       （1）磨粒固結(jié)鑲嵌在基體中，無(wú)需拋光過(guò)程對(duì)拋光液進(jìn)行磨料懸浮處理，親水性拋光墊還具備自修整功能，避免了拋光墊修整所帶來(lái)的停機(jī)問(wèn)題。

       （2）磨料凸起呈一定規(guī)律排列固定在拋光墊表面，突起間的溝槽結(jié)構(gòu)便于拋光液的輸送和廢屑的排除，避免了傳統(tǒng)游離磨料拋光中常見的釉化現(xiàn)象。

       （3）固結(jié)磨料拋光是基于二體磨損原理，對(duì)拋光液的依賴性較小，而對(duì)工件的形貌具有很高的選擇性，在拋光過(guò)程中能很快去除凸出部分，凹處基本不受機(jī)械作用，具有優(yōu)越的平坦化能力。

       （4）固結(jié)磨料拋光過(guò)程中，拋光液中不含磨料，加工表面容易清洗，廢液處理簡(jiǎn)單，是一種綠色環(huán)保的加工技術(shù)。

       李立明等，固結(jié)磨料研磨與拋光的研究現(xiàn)狀與展望，[J]金剛石與磨料磨具工程2009.517--22