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官方微信摘要 名稱(chēng)大面積類(lèi)金剛石碳膜低溫制備方法及裝置公開(kāi)號(hào)1196401公開(kāi)日1998.10.21主分類(lèi)號(hào)C23C16/26&n
| 名稱(chēng) | 大面積類(lèi)金剛石碳膜低溫制備方法及裝置 | ||
| 公開(kāi)號(hào) | 1196401 | 公開(kāi)日 | 1998.10.21 |
| 主分類(lèi)號(hào) | C23C16/26 | 分類(lèi)號(hào) | C23C16/26 |
| 申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 97103251.3 | ||
| 分案原申請(qǐng)?zhí)?/strong> | 申請(qǐng)日 | 1997.04.17 | |
| 頒證日 | 優(yōu)先權(quán) | ||
| 申請(qǐng)人 | 哈爾濱工業(yè)大學(xué) | 地址 | 150001黑龍江省哈爾濱市西大直街92號(hào) |
| 發(fā)明人 | 夏立芳; 孫明仁; 馬欣新; 孫躍 | 國(guó)際申請(qǐng) | |
| 國(guó)際公布 | 進(jìn)入國(guó)家日期 | ||
| 專(zhuān)利代理機(jī)構(gòu) | 哈爾濱工業(yè)大學(xué)專(zhuān)利事務(wù)所 | 代理人 | 李依群 |
| 摘要 | 本發(fā)明提出一種材料表面大面積類(lèi)金剛石碳膜低溫制備方法及裝置，具體說(shuō)是在密閉的真空室內(nèi)充入含碳?xì)怏w，并對(duì)工件施加負(fù)高壓電脈沖，激發(fā)等離子體，在工件溫度不變的條件下，在其表面形成一層膜基間無(wú)界面的大面積類(lèi)金剛石碳膜。其裝置為一個(gè)具有封閉磁場(chǎng)的真空室，室外設(shè)高壓脈沖電源及磁場(chǎng)，室內(nèi)設(shè)工件臺(tái)或支架及高電壓引入電極，以及油冷、水冷系統(tǒng)。采用本發(fā)明可以對(duì)成批工件，在其表面制取一層無(wú)界面的高結(jié)合力的類(lèi)金剛石碳膜。 | ||
豫公網(wǎng)安備41019702003646號(hào)