金剛石微粉拋光液的拋光性能試驗報告
大連理工大學現(xiàn)代制造技術(shù)研究院
由我公司提供的6μm和3μm粒徑的金剛石微粉拋光液試驗,試驗目標:藍寶石(直徑50mm)
用6μm粗拋:
光拋時間(h)
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表面粗糙度Ra(nm)
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材料去除量(μm)
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材料去除率(μm/h)
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拋光前
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215.484
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0.5
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34.933
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0.942
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1.984
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1.0
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33.498
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0.267
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0.534
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1.5
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22.000
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0.331
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0.662
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可以看出最有效時間0.5小時,一般只要1小時即可達到粗拋結(jié)果。
粗拋與精拋結(jié)合:
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6μm拋光液
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3μm拋光液
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精拋(3μm拋光液)
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拋光時間(h)
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拋光前
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0.5
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1.0
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1.5
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2
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2.5
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6.0
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6.5
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7
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表面粗糙度Ra(nm)
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215.484
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17.169
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11.261
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7.309
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7.280
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5.680
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3.075
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2.790
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3.115
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注:1)粗拋極限時間為1.5小時。
2)總共拋光時間6小時,Ra從215.484nm下降至3.075nm。
3)3μm微粉拋光液的拋光極限精度是3nm,若想要達到更高的精度就需要使用粒度更小的金剛石微粉拋光液。