名稱一種氣相生長金剛石膜的反應(yīng)室公開號2361640公開日2000.02.02主分類號C23C16/26
名稱碳化硅與氮化鎵間的緩沖結(jié)構(gòu)及由此得到的半導(dǎo)體器件公開號1137331公開日1996.12.04主分類號H01L33/
名稱用于莫來石結(jié)合的含碳化硅制品的結(jié)合劑及其制備方法公開號1133272公開日1996.10.16主分類號C04B3
名稱一種生產(chǎn)高強度氮化硅結(jié)合碳化硅制品的方法公開號1131134公開日1996.09.18主分類號C04B35/58